10噸/小時超純水設備

超純水（shuǐ）概念（niàn）

超純水是為了研製超純材料(半導體原（yuán）件（jiàn）材料、納米精細陶瓷材料等)應用蒸（zhēng）餾、去離子化、反滲透技術或其它適（shì）當的超臨界精細技術生產出來的（de）水，其（qí）電阻率大於18MΩ·cm，或接近（jìn）18.3MΩ·cm極限值(25℃)。這種水中除了水分子外，幾乎沒有什麽雜質，更沒有細菌、病毒、含（hán）氯二噁英等有機物，當然也沒有人體所需（xū）的礦（kuàng）物（wù）質微量元素，也就是幾乎（hū）去除氧和氫以外所有原子的水。

工藝流程

（1）原水箱→原水泵→砂濾器（qì）→炭濾器→自動加（jiā）藥阻垢裝置→保安過濾器→雙（shuāng）級反滲透膜組→RO純水箱→RO純水泵→紫外殺菌器→精密過濾器→EDI裝置→EDI氮封水箱→EDI純水泵→ TOC降解儀→核（hé）級拋光混床→微孔過（guò）濾器→用水點  

（2）原（yuán）水箱→原水泵→超濾裝置→超（chāo）濾水箱→雙級反（fǎn）滲透膜組→RO純水箱→RO純（chún）水泵→紫（zǐ）外殺菌器（qì）→精密過濾器→EDI裝置→EDI氮封水箱→EDI純水泵→ TOC降解儀→核級拋光混床→微孔過濾器→用（yòng）水點  

特別說明：

超純水在製備超純水後，要求輸送管（guǎn）道不能有析出物（wù）對超純水形成二次汙染，否則將導致被清洗的（de）芯片或電子設備受到汙染而報廢。金屬管道不可避免（miǎn）有金屬離子析出，隻有塑料管（guǎn）道較少（塑料材（cái）質管道需要控製TOC析出）。此類管道大多是安裝在純水車間的純（chún）水設備及純水（shuǐ）車間到各用（yòng）水車間點位上，連接（jiē）方式也是（shì）粘（zhān）接，需要（yào）clean-PVC專（zhuān）用膠水。在（zài）超純水係統中，一般終端管道采用clean-PVC。