5噸（dūn）/小時超純水設備

超純水概念（niàn）

超純水是為了研製超純材料(半導體原件材料、納米精細陶瓷材料等)應用蒸餾、去離子化、反滲透技術或其它適當的超臨界精（jīng）細技術生產出來的水，其電阻率大於18MΩ·cm，或接近18.3MΩ·cm極限值(25℃)。這種水中除了水分子外，幾乎沒有什麽雜質，更沒有細菌、病毒、含氯二噁英（yīng）等有機物（wù），當然也沒有人體所需的礦物質微量元素，也就是幾乎（hū）去除氧和氫以外（wài）所有原子的水。

工藝流程

（1）原水箱→原水泵（bèng）→砂濾器→炭濾（lǜ）器（qì）→自動加（jiā）藥（yào）阻垢裝置→保安過濾器→雙級反滲透膜組→RO純水箱→RO純水泵→紫外殺菌器→精密過濾器→EDI裝置→EDI氮封水箱→EDI純水泵→ TOC降解儀→核級拋光混床→微（wēi）孔過濾器→用水點  

（2）原水箱→原水泵→超濾裝置→超濾水箱（xiāng）→雙級反滲透膜組→RO純水箱→RO純水泵→紫外殺菌器→精密過（guò）濾器→EDI裝置→EDI氮封水箱→EDI純水泵→ TOC降解儀→核級拋（pāo）光混床→微孔過濾器→用水點  

特別說明：

超純水在製（zhì）備超純水後，要（yào）求輸送管道不能有析出物對超純水形成二次汙染，否則將導致被清洗的芯片或（huò）電子（zǐ）設備受到汙染而報廢。金屬管道不可避免（miǎn）有金屬離子析出，隻有塑料管道較少（塑料材質管道需要控製（zhì）TOC析出）。此類管道大多（duō）是安裝在純水（shuǐ）車間的純水設備及純水車間（jiān）到各用水車間點（diǎn）位上，連接方式也是粘接，需要clean-PVC專用膠水。在（zài）超純水係統中，一般終端管道采用clean-PVC。