3噸/小時超純水設備

超純水概念

超純水是為了研製超純材料（liào）(半導體原件材料、納米精細陶瓷材料等（děng）)應用蒸餾、去（qù）離子化、反滲透技術或其它適當的超臨界精細技（jì）術生產出來的水，其電阻率大於18MΩ·cm，或接近18.3MΩ·cm極限值(25℃)。這種水中（zhōng）除了水分子外，幾乎沒有什麽雜質，更沒有細菌、病毒（dú）、含氯二噁英等有機物，當然也沒有人體所需（xū）的礦物質微量元素，也就是幾乎去除氧和氫（qīng）以外所有原子的水（shuǐ）。

工藝流程

（1）原水箱→原水泵→砂濾器（qì）→炭濾器→自動（dòng）加藥阻垢（gòu）裝置→保安過濾器→雙級反滲透膜組→RO純水箱→RO純水（shuǐ）泵→紫（zǐ）外殺菌器→精（jīng）密過濾器→EDI裝置→EDI氮封水箱→EDI純水泵→ TOC降解儀（yí）→核級（jí）拋光混床→微孔過濾器→用水點  

（2）原水箱→原水泵→超濾裝置→超濾水（shuǐ）箱→雙級反滲透膜組→RO純水箱→RO純水泵→紫外殺菌（jun1）器→精密過濾（lǜ）器→EDI裝置（zhì）→EDI氮封水箱→EDI純（chún）水泵→ TOC降（jiàng）解儀→核（hé）級（jí）拋光混床→微孔過濾器→用（yòng）水點  

特（tè）別說明（míng）：

超純水（shuǐ）在製備（bèi）超純水後，要求輸送管道不能（néng）有析出物對超純（chún）水形成二次汙染，否則將導（dǎo）致被清洗的芯片或電子設備受到（dào）汙染而報廢。金屬管（guǎn）道不可避免有金屬離子析（xī）出，隻有塑料（liào）管道較少（塑料材質管（guǎn）道需要控製TOC析出）。此類管道大（dà）多是安裝在純水車間的純水設備及純水車間到各用（yòng）水車間點位（wèi）上，連接方式也是粘（zhān）接，需要clean-PVC專用膠水。在超純水係統（tǒng）中，一般終端管道采用clean-PVC。