50/噸小時

超純水概念

超純水是為了研製超純材料(半導體原件材料、納米精細陶瓷材（cái）料等)應用蒸餾、去離子（zǐ）化、反滲透（tòu）技術（shù）或其它適當的超臨界精細技術生產出來的水，其電阻率大於18MΩ·cm，或接近18.3MΩ·cm極限值(25℃)。這（zhè）種水中除了水分子外，幾乎沒有什麽雜質，更（gèng）沒有細菌、病毒、含氯二噁英等有機物，當然也沒有人體所（suǒ）需的礦物質微量元素，也就是幾乎去除氧和氫以外（wài）所有原子的（de）水。

工藝流程（chéng）

（1）原水箱→原水泵→砂濾器（qì）→炭濾器→自動加藥阻垢裝置→保安過濾器→雙級反滲透膜組→RO純水箱→RO純水泵→紫外殺菌器→精密過濾器→EDI裝置→EDI氮封水（shuǐ）箱→EDI純水（shuǐ）泵→ TOC降解儀→核級拋光（guāng）混床→微（wēi）孔過（guò）濾器→用水點 

（2）原水箱→原水泵→超濾（lǜ）裝置→超濾水箱→雙級反滲透膜組→RO純水箱→RO純水泵→紫外殺菌器→精密過濾器→EDI裝置→EDI氮封水箱→EDI純水泵→ TOC降解儀→核級拋光（guāng）混床→微孔過濾（lǜ）器→用（yòng）水點  

特別說明：

超純水在製備（bèi）超純（chún）水後（hòu），要求輸送管道不能有析出物對超（chāo）純水形成二次汙染，否則將導致被清洗的芯片或電子設備受到汙染而報廢。金屬管道不可避免有金屬離子析出，隻有塑料管道較少（塑料材（cái）質管道需要控製（zhì）TOC析出）。此類管道大（dà）多是安裝在純水車間的純水設備及純（chún）水車間到各用水車（chē）間點位上，連接方式也是粘接，需要clean-PVC專用膠（jiāo）水。在超純水係統中，一般終端管道采用clean-PVC。