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5噸/小時超純水係統
設備型(xíng)號:5噸/小時超純水(shuǐ)設備
項目地址:浙江嘉(jiā)善(shàn)
設計指標:終端電阻率≥18MΩ·CM,其餘指標滿足(zú)GB/T 11446.1-2003電子級水******標準
設備(bèi)用途(tú):半導體級材料清(qīng)洗
投產日期:2020年3月
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